原标题：TMC主动隔震平台详细规格参数

公司致力于高水准TMC隔振台系统的研发和制造，为高精密和高稳定性的科研领域以及工业生产提供所需要的条件。TMC主动隔振系统从简单的桌面式隔振显微镜底座到大尺寸的光学平台系统均有深入研究。公司凭借具有数字控制器和压电驱动器的精密的主动和惯性振动消除系统引领行业。同时也让TMC公司的主动光学隔震系统成了诸如生命科学、半导体、光子学、电子显微镜和计量学等科研领域和工业生产等敏感仪器对应嘈杂环境的标准解决方案，深受欢迎和认可。TMC的产品使用为先进的垂直集成制造工厂设计和生产，并且承诺为客户提供卓越的全球服务。

TMC隔振台的主要性能体现在于其减震的频率范围，以及有效减震百分比。TMC主动隔振系统从0.6Hz开始具备减震效果，并且具有对2Hz以上的有效频率范围的震动减震效可达90%的卓越性能。TMC公司的主动光学隔震系统主要采用压电主动震动消除，对比传统的空气隔震，具有更优异的性能。TMC隔震系统的出现，使得许多高精度和稳定性要求的实验和仪器运用成为可能，同时也促进了主动隔振台行业的技术革新。TMC隔震台的“刚性”式惯性消振支撑系统是任何振动敏感型仪器的理想选择，它使此类工具能够在嘈杂的环境中以高标准运行。

TMC隔振台的主要特点：

-始于0.6Hz的隔振

-2Hz开始的主动减振效果可达90%的无与伦比的隔振效果

-高灵敏度，低频惯性速度传感器

-没有任何空气隔振系统的局限性

-独特的串行设计和专有的高力压电技术

TMC隔振台的主要应用：

-聚焦离子束隔振

-扫描电子显微镜隔振

-超精密仪器和机械设备隔振

-半导体工业隔振

-小型双光束仪器隔振

-高大工具的建筑地面振动隔离

-先进半导体工厂中的精密微光刻、计量和检测设备的震动隔离

TMC STACIS Ⅲ：

STACIS III是一种灵活的高级主动隔振系统。STACIS采用先进的惯性振动传感器、先进的控制算法和先进的压电致动器，通过连续测量地面活动，然后扩展和收缩压电致动器来过滤地面运动，以实时消除振动。STACIS III包括一个全新的改进型数字控制器DC-2020。这款全新的高级控制系统在前后面板上采用了新的双核处理器、以太网以及USB串行端口，为用户提供了现代化且易于使用的图形用户界面（GUI）。STACIS在全球已拥有数百个成功的安装案例，是理想的隔振系统，适用于对振动为敏感的仪器。

STACIS Quiet Island：

半导体制造工厂、纳米技术中心、纳米工厂和其他精密制造和研究中心通常将洁净室与活动假地面系统结合在一起，以满足复杂的设施要求（管道、电缆、燃气管道等）和保持严格的清洁标准。这种地面不适用于对振动敏感的生产、检测和计量设备。活动地面无法为这些工具提供必要的安静振动环境。TMC的Quiet Island用一个固定在下面底层地面上的“安静岛”替换一部分活动地面区域，提供了一种创新的解决方案。Quiet Island包括一个兼容洁净室的平台顶部和一个应用和现场特定的支撑结构。

SEM-Base Ⅵ：

SEM-BaseⅥ 是下一代STACIS主动压电消振产品。SEM-Base VI被设计用于支撑所有商用扫描电子显微镜（SEM）以及许多聚焦离子束（FIB）和小型双光束仪器。SEM-Base VI具有更好的隔振性能、更快、更强大的控制器和高级图形用户界面（GUI）。

TOOL-Base:

TOOL-Base是一种先进的主动压电地面减振平台，用于超精密仪器和机械设备。它适用于比典型的商业扫描电子显微镜（SEM）更大或更重的仪器，而且设备有高度限制。

TOOL-Base不局限于单一的配置，而是可以被设计成与工具的尺寸、腿的布局和高度要求紧密匹配。此外，它的容量可以与有效载荷的质量相匹配。

TOOL-Base优势:

- 硬安装技术： TOOL-Base是带有内部气动振动控制系统的理想工具，提供一个稳定和坚硬的平台，以支持振动敏感的工具。

- 主动惯性振动消除 ： TOOL-Base采用高灵敏度，低频惯性速度传感器，以实现高水平的振动衰减，即使在安静的地面上。

- 采用压电技术的串行设计： 独特的串行设计和专利的高功率压电技术使得 0 。 6Hz 开始的有源带宽很宽，并且在 2Hz 开始的主动减振 90% 达到无与伦比的惯性主动减振效果。

- 配置灵活性： TOOL-Base的配置可以调整，以适应刀具的底座和高度要求