(原標題:阿斯麥CEO:中國不太可能獨立造出頂尖光刻機,但也別那麼絕對)

阿斯麥CEO:中國不太可能獨立造出頂尖光刻機,但也別那麼絕對

【文/觀察者網 呂棟】“中國不太可能獨立複製(replicate)出頂尖的光刻技術,因爲阿斯麥依賴於不懈的創新,以及整合只有從非中國供應商處才能獲得的零部件。但我的意思並不是絕對不可能,因爲中國的物理定律和我們這裏是一樣的。永遠別那麼絕對(Never say never),他們肯定會嘗試的。”當地時間1月19日,荷蘭光刻機巨頭阿斯麥(ASML)CEO溫彼得(Peter Wennink)表示。

光刻是芯片製造的核心環節,也是研發難度最大的半導體設備。目前,阿斯麥壟斷着最頂尖的光刻機市場,該公司也因此被美國視爲圍堵中國大陸芯片產業發展的“政治棋子”。溫彼得在做出上述表述的同時還透露,阿斯麥尚未獲得向中國大陸出口最先進光刻機的許可,但一些生產成熟製程的光刻機出口並不受限制。

CINNO Research半導體事業部總經理Elvis Hsu在接受觀察者網採訪時表示,光刻機是半導體制造設備價格佔比最高的部分約25-30%,其研發難點在於曝光光源、對準系統和透光鏡頭等技術的整合,以及龐大資金投入。目前,國內技術領先的光刻機研製廠家是上海微電子,可以穩定生產90/65nm製造工藝的光刻機。

阿斯麥CEO:中國不太可能獨立造出頂尖光刻機,但也別那麼絕對

路透社報道截圖

剛過去的2021年是全球芯片短缺最嚴重的一年,作爲半導體制造關鍵設備提供商,阿斯麥1月19日也拿出一份亮眼業績。財報顯示,阿斯麥2021年總營收爲186億歐元(約合人民幣1339億元),同比增長33%;淨利潤爲59億歐元(約合人民幣425億元),同比增長66%;毛利率爲53%,比上年同期提高4個百分點。

阿斯麥CEO溫彼得表示,2021年營收中有63億歐元來自42個EUV系統(極紫外光刻機)訂單,比上年多11個。該公司在過去一年經歷許多挑戰,市場需求比最大產能高出40%至50%。爲提高對客戶的支持,該公司選擇縮短週期以運送更多設備,主要通過快速發貨流程跳過工廠的一些測試,並在客戶現場進行最終測試和正式驗收。雖然這會使收入確認推遲到客戶正式驗收前,但能幫助客戶提早進行晶圓生產。

增加員工數量,也成爲阿斯麥應對需求增長的方法。溫彼得表示,該公司計劃在今年年底前將員工人數從目前的3.15萬人增加到3.5萬人。他透露,該公司在2021年淨增加4000多名新員工,到2022年底,員工人數將比2020年底增加近30%。不過,溫彼得表示,該公司可能需要兩到三年才能實現供需平衡。隨着新工廠的建設,到2025年或2026年,全球半導體行業甚至可能出現“某種程度的供過於求”。

單從四季度來看,阿斯麥實現營收50億歐元,毛利率達到54.2%,淨利潤18億歐元;新增訂單金額71億歐元。期內,該公司共出貨82臺光刻系統,環比上季度增加3臺;其中EUV光刻系統11臺,比上個季度減少4臺;在所有出貨中,73%光刻機被用於邏輯工藝製造,27%的光刻機用於存儲芯片生產。

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阿斯麥2021年四季度財報截圖

從出貨地來看,中國臺灣依然是阿斯麥的最大市場,四季度有51%的光刻系統發往當地,佔比環比提升5個百分點;韓國是該公司第二大市場,同期有27%的光刻系統發往當地,佔比環比下降6個百分點;中國大陸是阿斯麥第三大市場,四季度有22%的光刻系統向當地出貨,佔比提升12個百分點。2021年三季度,美國和日本分別在阿斯麥出貨中佔比10%和1%,但四季度佔比均意外降爲0。

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阿斯麥光刻機出貨信息

過去幾年,阿斯麥一直在研發高數值孔徑(0.55 NA)EUV光刻機。這種光刻機採用最新的光學設計,具有更高的分辨率,可以使芯片面積縮小1.7倍,晶體管密度增加2.9倍。與目前的0.33 NA EUV光刻機相比,0.55 NA光刻機可以顯著提高良率、降低成本和縮短生產週期。當然,0.55 NA光刻機的價格也相當昂貴,每臺售價約爲3億美元(約合人民幣19億元),比0.33 NA光刻機售價高出一倍。

目前,臺積電等生產7nm-5nm製程的芯片採用的都是0.33 NA EUV光刻機,而第一代0.55 NA光刻機TWINSCAN EXE:5000還在研發過程中,預計2023年上市。早在2018年,英特爾就率先向阿斯麥下單第一代0.55 NA EUV光刻機,該公司也有望成爲首個高數值孔徑EUV光刻機的使用者,並將其用於3nm及以下製程。

在本次披露財報時,阿斯麥透露,該公司在2021年四季度收到一份TWINSCAN EXE:5000光刻機訂單,累計訂單達到5份。與此同時,該公司還在2022年初收到下一代高數值孔徑EUV光刻機TWINSCAN EXE:5200的首份訂單,下單的還是英特爾。從路線圖來看,TWINSCAN EXE:5200預計最快2024年底投入使用,2025年開始大規模應用於2nm甚至以下先進製程的生產。國外有分析師直言,“我敢打賭,英特爾爲這一權利花了很多錢,因爲他肯定不是唯一想先得到這種機器的公司。”

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圖源:阿斯麥

展望新一年的業績,阿斯麥預計其2022年一季度銷售收入約爲33億-35億歐元,環比下滑30%-34%。溫彼得對此解釋稱,由於大量的快速出貨,約有20億歐元的預期收入將從第一季度轉移到後續季度,這也是該公司一季度預期銷售額較低的原因。縱觀全年,即使考慮到目前6個EUV系統的快速出貨相關收入將轉移至2023年,該公司2022年的營收增長仍將達20%左右。

但這個說法遭到中國臺灣半導體分析師陸行之的質疑。他提到,2021年四季度,阿斯麥存儲器芯片用光刻機營收佔比環比下滑12個百分點,同期確認收入的EUV也低於原預期,或許是韓國三星、海力士因爲DRAM(動態隨機存儲器)合約價格下滑,要求延遲付EUV的款項給阿斯麥。因爲既然是快速出貨,理論上應該也是快速或準時付款,但現在阿斯麥來個快速出貨,但延遲付款,怎麼解釋都顯得很奇怪。

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臺媒報道截圖

在發佈本次財報前,阿斯麥柏林工廠曾發生火災。TrendForce集邦諮詢向觀察者網提供的一份報告顯示,阿斯麥德國柏林工廠火災對晶圓代工及存儲器而言,將可能對EUV光刻機設備製造產生較大影響。而根據該機構掌握的信息,阿斯麥所需的零部件亦不排除通過其他廠區取得,加上目前EUV設備交期相當長,因此實際對EUV供應的影響仍有待觀察。而阿斯麥方面也預計柏林火災不會對其2022年的系統出貨產生重大影響。

從2018年開始,阿斯麥就試圖向中國大陸銷售EUV光刻機,希望進一步進入中國大陸市場,但荷蘭政府一直未批准其出口許可申請。在美國的持續施壓之下,這一請求已被荷蘭官員擱置。溫寧克在財報發佈當天表示,他擔心進一步的出口限制。“我對任何政府採取的出口管制措施都感到擔憂。我們嚴重缺乏成熟的半導體技術,我們需要成熟的製造能力。”

“出口管制將加快中國自主研發,15年時間裏他們將做出所有的東西”、“中國完全自主掌控供應鏈之後,歐洲供應商將徹底失去市場”,其實溫彼得去年4月就已經公開表達焦慮,但美國一直選擇視而不見。

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