光刻機,是芯片 製造核心中的核心,相當於機牀製造 中的機牀母機。

半導體 設備行業細分領域衆多,大致上可以分爲沉積設備、光刻設備、刻蝕設備、材料製備設備、表面處理設備、安裝設備等幾大塊。

其中最核心的,技術門檻最高的,是光刻設備,目前被一家荷蘭公司壟斷——ASML。ASML佔據了全球高達80%的市場份額,以及全部的高端市場份額,最先進的EUV光刻機每臺售價都超過1億美元。

光刻設備佔據了半導體設備市場的39%,高端技術壁壘太強,我們玩不過,國內廠商選擇從中低端開始切入。

荷蘭ASML牛到什麼地步?他已經佔據了高達80%的市場份額,壟斷了高端光刻機市場,而且世界主要芯片製造商英特爾,三星 和臺積電都是ASML的股東,它們用來加工14/16nm芯片的光刻機都是買自ASML,而格羅方德、聯電以及中芯國際等晶圓廠的光刻機主要也是來自ASML,ASML可謂獨步天下,獨孤求敗。而在我國國內,晶圓廠所需的高端光刻機完全依賴進口。

這就是ASML售價超過1億美金,世界最先進的光刻機:EUV NXE 3350B(EUV極紫外線光刻機),號稱半導體業的終極武器,臺積電、英特爾都寄望,這臺史上最昂貴的「工具機」,會在2017年開始試產的七奈米制程大發神威,成爲主力機種。

相比之下,國內光刻機廠商則顯得非常寒酸,處於技術領先的上海微電子裝備 有限公司已量產的光刻機中,性能最好的是能用來加工90nm芯片的光刻機,技術差距說是鴻溝都不爲過。正是因此,國內晶圓廠所需的高端光刻機完全依賴進口,但是由於西方瓦森納協議的限制,中國只能買到ASML的中低產品,這一點從2016年廈門當地企業進口的光刻機報價僅1億人民幣就可以看出來了。

作爲集成電路 製造過程中最核心的設備,光刻機至關重要,芯片廠商想要提升工藝製程,沒有它萬萬不行,中國半導體工藝爲啥提升不上去,光刻機被禁售是一個主要因素。

這麼昂貴的設備,爲什麼不賣給中國呢?這就要提到《瓦森納協定》。

《瓦森納協定》又稱瓦森納安排機制,全稱爲《關於常規武器和兩用物品及技術出口控制的瓦森納安排》,目前共有包括美國、日本、英國、俄羅斯等40個成員國(注:沒有中國)。儘管“瓦森納安排”規定成員國自行決定是否發放敏感產品和技術的出口許可證,並在自願基礎上向“安排”其他成員國通報有關信息。但“安排”實際上完全受美國控制。當“瓦森納安排” 某一國家擬向中國出口某項高技術時,美國甚至直接出面干涉,如捷克擬向中國出口“無源雷達設備”時,美便向捷克施加壓力,迫使捷克停止這項交易。

那麼中國發展光刻機的出路在哪裏呢?

中國自主發展光刻機的突破很大可能就看中國科學院長春光學精密機械與物理研究所,而中科院 長春光機所是A股上市公司奧普光電的大股東,持股42.65%.奧普光電本身也是從事精密光機電儀器、光機電一體化 設備。持有大量生產光刻機設備的公司:公司持有奧立紅外30.10%的股份,持有長光易格49%的股份,持有長光辰英26.52%的股份,持有長光辰芯32.06%的股份,持有長光博迅15%的股份,持有禹衡光學65%的股份,持有長光宇航19.23 %的股份,公司子公司持有長春長光啓衡傳感技術有限公司33.40%的股份。

未來如果國產光刻機取得重大突破,不排除大股東長春光機所把光刻機資產注入 上市公司的可能!

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