2018年12月9日，北京理工大學姜瀾教授團隊與中國科學院西安光學精密機械研究所李明研究員以及美國內布拉斯加林肯大學陸永楓教授等合作，通過泵浦探測陰影技術揭示了飛秒激光多脈衝加工硅過程中的空氣等離子體激發和材料等離子體擴張等物理現象隨激光誘導表面微納結構的演化規律及其內在機制，相關研究成果以“Structure-Mediated Excitation of Air Plasma and Silicon Plasma Expansion in Femtosecond Laser Pulses Ablation”爲題發表在《Research》（DOI: 10.1155/2018/5709748）上。

研究背景

飛秒激光具有超短的脈衝持續時間和超強的峯值功率密度，可實現材料的高精度、高質量和三維加工，有望成爲未來高端製造的主要手段之一。飛秒激光微納製造能爲國防、航空航天、新能源、IC、消費電子、生物醫療等領域實現跨越式發展提供重要的製造支撐。

與此同時，飛秒激光微納加工技術及其應用的快速發展迫切需要深入理解飛秒激光與材料相互作用的複雜動力學過程。採用時間分辨的超快觀測技術能夠對飛秒激光加工過程（如電子電離與衰減、等離子體形成與膨脹等）進行超快探測和分析，已成爲揭示飛秒激光非線性、非平衡作用機理的主要途徑之一。作爲激光與材料相互作用的重要組成部分，飛秒激光誘導等離子體及其產生的衝擊波在近年來得到了持續而深入的研究。然而，目前絕大多數的研究均聚焦於單脈衝加工，而對多脈衝飛秒激光誘導等離子體和衝擊波的演化規律及其內在機制仍不清楚。隨着激光輻照脈衝數的增加，其誘導產生的表面結構將顯著影響後續激光與材料的相互作用過程。

北京理工大學姜瀾教授前期提出並實現了超快激光與材料相互作用過程的多尺度觀測系統，綜合運用泵浦探測、激光誘導擊穿光譜等技術，首次實現了對製造中以電子爲能量載體主線的質能傳輸過程的觀測，包括激光傳播、電子電離及衰減、衝擊波形成及材料相變以及材料去除/改性等，爲製造新技術提供了觀測證據。

研究進展

在此基礎上，姜瀾教授團隊與中國科學院西安光學精密機械研究所李明研究員以及美國內布拉斯加林肯大學陸永楓教授等人開展合作，通過泵浦探測陰影成像技術（多尺度觀測系統子系統），從飛秒-皮秒-納秒時間尺度揭示了飛秒激光多脈衝誘導等離子體和衝擊波的演化機制。研究人員首先聚焦於前兩個激光脈衝加工過程，在飛秒時間尺度直接觀測到第二個脈衝作用期間的空氣等離子體激發（圖1），明確了凹坑誘導激光再聚焦增強空氣電離的物理機制；並通過皮秒-納秒時間尺度的等離子體和衝擊波圖像揭示了空氣等離子體通道對沖擊波擴張的縱向增強作用和擴張維度的影響規律。

圖1 前兩個激光脈衝加工硅的飛秒時間尺度下的時間分辨陰影圖

隨後，課題組進一步研究了多脈衝加工過程中的空氣等離子體激發、材料等離子體和衝擊波擴張（圖2）以及表面微納結構隨輻照脈衝數的演化規律。研究結果揭示了影響多脈衝激光誘導等離子體和衝擊波擴張的兩種物理機制：空氣等離子體激發和激光與材料耦合，且這兩種作用機理依賴於激光誘導的表面微納結構形貌。

圖2 飛秒激光誘導空氣等離子體激發、材料等離子體和衝擊波擴張隨輻照脈衝數的演化規律

未來展望

此項研究通過泵浦探測陰影成像技術研究了飛秒激光多脈衝誘導的等離子體演化規律，並揭示了相應的物理機制，這對深入理解飛秒激光與材料的相互作用過程具有重要的科學意義。同時，該研究團隊提出將進一步提升多尺度觀測系統的觀測能力，實現高時空分辨率、高信噪比的超快高精密多尺度觀測系統，從電子層面全方位揭示了飛秒激光與材料相互作用過程的時空演變規律，爲飛秒激光電子動態調控微納製造等新方法提供觀測基礎、機理分析和優化指導。

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