摘要：\u003C\u002Fp\u003E\u003Cp\u003EA股上市公司中，耐威科技MEMS业务的客户中有包括全球光刻机巨头，蓝英装备控股子公司UCM AG为荷兰光刻机制造商ASML公司提供精密清洗解决方案。"\u003Cp\u003E财联社资讯获悉，上海市经济和信息化委员会发布《上海市智能制造行动计划（2019-2021年）》，将进一步推广应用智能制造新模式，在集成电路领域，重点以芯片制造、大硅片制备和封装测试为主攻方向，推动光刻机、刻蚀机等关键技术装备研制和产业化，提升芯片制造产业链的智能化和自主可控水平。

"\u003Cp\u003E财联社资讯获悉，上海市经济和信息化委员会发布《上海市智能制造行动计划（2019-2021年）》，将进一步推广应用智能制造新模式，在集成电路领域，重点以芯片制造、大硅片制备和封装测试为主攻方向，推动光刻机、刻蚀机等关键技术装备研制和产业化，提升芯片制造产业链的智能化和自主可控水平。\u003C\u002Fp\u003E\u003Cp\u003E在半导体制造过程中，最重要的一个过程就是光刻工艺，需要用到光刻机。光刻环节实现芯片设计图从掩模到硅片上的转移，是芯片生产流程中的最关键步骤，直接决定芯片的制程水平和性能水平。目前市场上提供量产商用的光刻机厂商有三家：ASML, 尼康(Nikon)，佳能(Canon)，ASML占有60%以上市场份额。7nm及以下节点工艺则需要EUV光刻机，目前只有荷兰ASML公司能生产，每台售价超过1亿欧元。\u003C\u002Fp\u003E\u003Cp\u003EA股上市公司中，耐威科技MEMS业务的客户中有包括全球光刻机巨头，蓝英装备控股子公司UCM AG为荷兰光刻机制造商ASML公司提供精密清洗解决方案。贝斯特参股20%的旭电科技生产高度自动化曝光设备广泛应用于PCB、FPC、LCD、TP、IC载板等黄光图转制程中。\u003C\u002Fp\u003E"'.slice(6, -6), groupId: '6714662946485568014