摘要：\u003C\u002Fp\u003E\u003Cp\u003EA股上市公司中，耐威科技MEMS業務的客戶中有包括全球光刻機巨頭，藍英裝備控股子公司UCM AG爲荷蘭光刻機制造商ASML公司提供精密清洗解決方案。"\u003Cp\u003E財聯社資訊獲悉，上海市經濟和信息化委員會發布《上海市智能製造行動計劃（2019-2021年）》，將進一步推廣應用智能製造新模式，在集成電路領域，重點以芯片製造、大硅片製備和封裝測試爲主攻方向，推動光刻機、刻蝕機等關鍵技術裝備研製和產業化，提升芯片製造產業鏈的智能化和自主可控水平。

"\u003Cp\u003E財聯社資訊獲悉，上海市經濟和信息化委員會發布《上海市智能製造行動計劃（2019-2021年）》，將進一步推廣應用智能製造新模式，在集成電路領域，重點以芯片製造、大硅片製備和封裝測試爲主攻方向，推動光刻機、刻蝕機等關鍵技術裝備研製和產業化，提升芯片製造產業鏈的智能化和自主可控水平。\u003C\u002Fp\u003E\u003Cp\u003E在半導體制造過程中，最重要的一個過程就是光刻工藝，需要用到光刻機。光刻環節實現芯片設計圖從掩模到硅片上的轉移，是芯片生產流程中的最關鍵步驟，直接決定芯片的製程水平和性能水平。目前市場上提供量產商用的光刻機廠商有三家：ASML, 尼康(Nikon)，佳能(Canon)，ASML佔有60%以上市場份額。7nm及以下節點工藝則需要EUV光刻機，目前只有荷蘭ASML公司能生產，每臺售價超過1億歐元。\u003C\u002Fp\u003E\u003Cp\u003EA股上市公司中，耐威科技MEMS業務的客戶中有包括全球光刻機巨頭，藍英裝備控股子公司UCM AG爲荷蘭光刻機制造商ASML公司提供精密清洗解決方案。貝斯特參股20%的旭電科技生產高度自動化曝光設備廣泛應用於PCB、FPC、LCD、TP、IC載板等黃光圖轉製程中。\u003C\u002Fp\u003E"'.slice(6, -6), groupId: '6714662946485568014