硅微粉是以天然石英礦、熔融石英等爲原料，經研磨、精密分級、除雜等多道工藝加工而成的二氧化硅粉體材料，廣泛應用於覆銅板、芯片封裝用環氧塑封料以及電工絕緣材料、膠粘劑、陶瓷、塗料、精密鑄造、日用化工等領域。

1、硅微粉生產工藝

目前，硅微粉的生產設備主要有球磨機、振動磨、氣流磨、微粉分級機及烘乾機等，生產工藝有幹法研磨和溼法研磨兩種。

（1）幹法研磨生產工藝

將硅微粉原料放進球磨機或振動磨中研磨，該研磨工藝可以連續進料和出料，也可以一次投入若干重量原料，連續研磨若干時間後出料；出料時要經過微粉分級機控制粒度，粗的產物返回磨機再磨或作爲產品，細的則是產品。幹法研磨要嚴格控制入磨物料水分，產品不再幹燥。

硅微粉幹法研磨生產工藝

（2）溼法研磨生產工藝

將若干重量硅微粉原料一次投入球磨機中，加入適量的水，作業濃度在65%～80%；連續研磨十幾個小時後，倒出料漿，用壓濾方法或放在料桶內自然沉澱脫水，得到含水料餅；用打碎機打碎分散後均勻連續地投到空心軸攪拌烘乾機中，乾燥後得到產品。

無論是幹法研磨還是溼法研磨，爲了避免物料在研磨時被污染，使用的磨礦介質應是非金屬材料如氧化鋁陶瓷球或硅石；磨機的桶體內也必須襯高強度耐磨材料如氧化鋁陶瓷、硅石或聚氨脂橡膠。

2、硅微粉產品質量控制要點

超細粉碎是硅微粉產品生產的核心過程之一，直接影響其純度、粒度分佈及生產成本等。硅微粉生產過程中，產品質量控制要點如下：

（1）磨機調控：可通過合理選取研磨介質材料、控制介質配比和填充率，有效控制雜質含量，提高設備使用壽命；根據球磨機長徑比、襯板結構與分佈、入磨粒度等，合理調整球磨機轉速，促使研磨腔內物料保持良好的運動狀態，從而提升研磨效果。

（2）顆粒整形：通過優化設備運轉速度、機體內壓力和溫度、物料停留時間等工藝條件，可提高硅微粉表面的規整度，改善產品的流動性，有利於硅微粉在下游樹脂體系中應用時的高填充、高分散。

（3）混合復配：單峯分佈的硅微粉不能實現最緊密堆積，難以滿足客戶使用時的高填充要求，不能最大限度地發揮硅微粉的優異性能。提高填充率的方法之一是將不同粒度分佈的硅微粉產品進行混合，通過配比混合形成多峯分佈，實現高填充，同時也降低了硅微粉的吸油值。

（4）表面改性：硅微粉作爲無機填料，與有機物樹脂混合使用時存在相容性差和分散難的問題，導致集成電路封裝及基板等材料耐熱性和防潮性變差，從而影響產品的可靠性和穩定性。爲改善硅微粉與有機高分子材料界面結合的問題，提高其應用性能，一般需要對硅微粉進行表面改性。

（5）生產條件控制：生產電子級硅微粉的關鍵是除去石英中的導電雜質，因此除選用較純的原料以外，在生產的每一個環節均應儘量減少容器、環境、化學藥劑等對產品的污染，嚴格操作。