MEMS傳感器是採用微機械加工技術製造的新型傳感器，是MEMS系統的重要分支。MEMS傳感器以其優異的性能，如體積小、重量輕、成本低、功耗低、靈敏度高、可批量化生產、易於集成和實現智能化等特點，逐步取代傳統機械傳感器而佔據主導地位。目前，MEMS傳感器主要應用在消費電子、汽車電子、航空航天、工業控制、醫療健康等領域，未來物聯網產業將是MEMS傳感器應用的重要領域。

MEMS傳感器芯片，資料圖

而專利是人類科學技術成果的重要體現，反映了最新科技發明、創造和設計。通過對專利數據的分析，可以明確產業領域的技術發展現狀、該領域內國內外知名企業研發重點和核心技術情況。通過專利分析，可以明確我國在某個領域內存在的技術問題，有助於政府及企業更好的佈局。

據悉，受益於汽車電子及消費電子的發展，在世界範圍內，MEMS傳感器專利數量自1997年開始快速增長，2000年後申請數量開始保持在相對平穩的狀態，而近幾年尤其在2016年後，MEMS傳感器專利數量開始明顯下降，這是由於MEMS在汽車電子及消費電子領域的應用已趨於飽和，而新增產業如物聯網的應用還沒有形成規模。未來隨着物聯網產業的發展，MEMS傳感器將迎來新一輪的發展高峯。

全球主要國家（地區）MEMS專利數量佔比情況，資料圖

如上圖所示，有研究機構對MEMS專利主要國家及地區的分析後總結稱，目前，MEMS傳感器申請量主要集中在美國、日本、中國及世界知識產權組織等。

不過，雖然我國的專利數量佔據全球第三的位置，但是專利質量較差，核心專利較少。因此，我國企業及研發機構仍需加大MEMS傳感器技術領域的研發力度及國際專利的申請。

在MEMS專利數量上領先的前20家公司，資料圖

通過對MEMS傳感器專利權人的分析可以看出，規模以上的企業有韓國三星電子、日本愛普生、美國應用化學、德國博世等公司，這些公司掌握了MEMS傳感器的核心技術，並佔據全球MEMS傳感器市場主要份額。

而我國僅有臺灣的臺積電上榜，主要是因爲我國MEMS傳感器專利集中在高校、研究所等單位，產業化程度不高。同時，企業自主研發能力薄弱，政府對MEMS傳感器產業的支持力度有限，這些因素制約了MEMS傳感器的發展。

隨着近幾年下游應用端的發展，MEMS傳感器受到政府及企業的重視。政府以基金或項目的方式在資金或政策上基於MEMS傳感器的支持，企業也通過收購、併購、交流合作等方式佈局MEMS傳感器，如國家集成電路產業投資基金出資20億人民幣助力耐威科技佈局8英寸MEMS代工線。未來，如果企業能夠與高校或研究所加強產學研合作，在政府大力支持下，有望進一步加緊在MEMS傳感器領域的佈局。

未來，MEMS傳感器將是物聯網、智能製造、智能機器人、智慧醫療及無人駕駛等領域實現的重要條件，隨着下游應用的發展，MEMS傳感器將迎來發展高峯。

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