山東有研半導體材料有限公司德州廠區

日前，中國有色金屬工業協會、中國有色金屬學會聯合發佈《關於頒發2020年度中國有色金屬工業科學技術獎的通知》，位於德州經濟技術開發區的山東有研半導體材料有限公司的IGBT用8英寸硅襯底拋光片項目獲得2020年度中國有色金屬工業科學技術獎二等獎。

山東有研半導體材料有限公司集成電路用硅片

IGBT用8英寸硅襯底拋光片項目的實施，突破了完整8英寸硅單晶生長、8英寸硅片精密加工等關鍵技術，解決了晶體微缺陷控制、硅片幾何參數精密控制的技術難題，研製出晶體微缺陷極少、幾何參數高度精密的高品質8英寸輕摻硅片，打破了國外技術壁壘，完全實現進口替代，形成了具有自主知識產權的一系列核心技術。項目整體技術達到國際先進水平，其中部分指標達到國際領先水平。

項目成功實施成果轉化，實現了客觀的經濟效益，並填補了國內IGBT用8英寸硅襯底拋光片產品的技術空白，批量生產的產品進入市場，累計實現銷售超過30萬片，銷售額近億元，前景良好；同時項目成果輻射帶動了相關配套產業的發展，提升了項目單位現有8英寸硅材料的產品質量和技術，產品在國際上呈現了較好的競爭力，促進了我國高端半導體產業鏈的完善，使我國半導體設備部件和設備部件用高端硅材料逐步擺脫對國外的依賴，提升了國家競爭力和戰略地位，保障國內集成電路產業的持續健康發展。

來源：大衆報業·海報新聞

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