中國基金報記者 文夕

“光刻機已向國內龍頭芯片企業銷售。”蘇大維格對投資者一句回覆，立刻引爆市場。

9月14日午間，蘇大維格在投資者互動平臺中對光刻機出貨的描述，令公司股價瞬間20CM直線漲停。在股價漲停之時，投資者也大感疑惑，質疑公司上述“光刻機描述是否寫錯”。

隨後蘇大維格做出澄清，表示公司出貨並非如ASLM的EUV掩摸光刻機，而是激光直寫光刻機。

不過，儘管同稱爲“光刻機”，卻謬之千里，上市公司在公開平臺如此模糊表述導致股價異動，難免對市場存在誤導。此舉也引起監管關注，深交所15日早間立即對蘇大維格下發關注函。

並非真正意義光刻機

在14日午間，蘇大維格在互動平臺中對投資者的一則回覆立刻引起市場高度關注。該公司表示，公司光刻機已實現向國內龍頭芯片企業銷售，並已實現向日本、韓國、以色列等國家的出口。同時蘇大維格還表示，公司向國內相關芯片光刻機廠商提供了定位光柵尺部件。

衆所周知，EUV/DUV光刻機當前是國內被重點攻克的“卡脖子”環節，市場對此給予了高度關注。蘇大維格此番表述發出後，不少投資者直呼公司是“國產之光”，市場情緒激烈。該公司股價在午後立刻20CM漲停。

但更多投資者不免心生疑問：“蘇大維格能生產芯片光刻機了？！”也有投資者質疑“公司是否寫錯”。

在經歷了投資者密集電話“轟炸”後，蘇大維格作出澄清。據該公司描述，光刻機主要有兩種類型，第一類是掩摸光刻機，如ASLM的EUV設備，好比“複印機”，把掩摸上的圖形投射到硅片上，可用於各類芯片的批量生產，這類光刻機技術工藝和材料難度極高。

而第二類則是無掩摸光刻機，也稱直寫光刻機，包括激光直寫光刻機和電子束光刻機等，用於直接將數據轉變成相關圖形，好比“打印機”，可用於芯片/液晶掩摸、光模具及其他微結構的製備。

該公司進一步澄清，目前大規模批量製造芯片用光刻機主要包括DUV深紫外光刻機/EUV極紫外光刻機等，這類光刻機技術工藝和材料難度極高，公司目前不涉及此類光刻機的整機制造，而該公司對外銷售的光刻機主要爲激光直寫光刻機。

不難看出，此光刻機非彼光刻機。在業內看來，蘇大維格產品更應該被描述爲“光刻設備”，而非“光刻機”。

不過，該公司進一步解釋稱，DUV和EUV在生產芯片過程中使用的掩摸板，需要直寫光刻機機型進行製造，包括激光直寫光刻機和電子束光刻機。除掩摸外，激光直寫光刻機也可廣泛用於微納光學材料、MEMS產品、射頻器件、濾波器件、光子芯片等製造。換言之，蘇大維格產品仍處於掩摸光刻機產業鏈之中。

監管關注是否“蹭熱點炒股價”

蘇大維格此次較爲模糊的表述，難免引起投資者誤解。今日早間開盤後，蘇大維格股價一度低開逾6%，隨後又逐漸拉昇，截至截稿時，一度漲逾8%。

值得注意的是，此舉也引來監管關注。深交所在9月15日早間，火速對其下發關注函。

深交所關注到蘇大維格如下表述：“公司已關注到納米壓印光刻在集成電路和芯片製造領域具備替代傳統光刻的應用潛力，並在積極佈局”。

交易所要求公司結合不同類型光刻設備的技術路線差異，補充披露公司所生產光刻設備的具體類型、主要客戶及下游用途、以及最近一年一期境內外銷售情況。並覈實說明公司光刻設備是否能夠直接用於芯片研發及製造、主要技術參數是否與業內龍頭廠商存在較大差距。

同時，交易所要求蘇大維格說明其納米壓印技術具體用途、研發情況，以及在集成電路領域的佈局情況。

值得注意的是，蘇大維格此次對光刻機的表述引起“蹭熱點”之嫌。蘇大維格還被要求覈實說明控股股東、實際控制人，董事、監事、 高級管理人員及其直系親屬、持股5%以上股東近1個月買賣公司股票情況，並披露未來3個月內是否存在減持計劃。

同時，深交所要求蘇大維格在公開渠道是否客觀、真實、準確、完整、公平地介紹公司業務的實際情況，是否存在違反信息披露公平性原則的情形。

記者注意到，蘇大維格此前在互動平臺上對其光刻產品有過多次提及。早在2020年，公司就曾在投資者互動平臺上表示，公司的光刻機主要用於光電子材料和器件的製備，未來將根據光電產業的發展需要，持續進行光刻技術和光刻設備的更新迭代。

2022年時，蘇大維格對其光刻設備應用領域進行過更爲詳盡的介紹，包括柔性電子、MEMS以及特定領域半導體如半導體功率芯片等產品的研發與製造。當時，蘇大維格稱，公司光刻設備整機除自用及向國內外高校及科研院所銷售外，2021年開始向企業拓展，併成功實現了對半導體領域企業的銷售。

2023年上半年，蘇大維格實現營收爲7.88億元，較上年同期下滑10.47%。公司方面稱，收入下滑主要是受顯示面板行業不景氣，反光材料市場競爭加劇等因素影響，導光材料、反光材料業務收入分別同比下滑4867.87萬元、6791.19萬元。

而在歸母淨利潤方面，蘇大維格上半年同比增長784.54%，不過實際金額僅爲1217.69萬元。大幅增長源於去年同期基數僅爲137.66萬元。

編輯：喬伊

審覈：許聞