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格隆汇10月11日丨至纯科技(603690.SH)投资者关系活动记录表显示，公司湿法清洗设备可覆盖28纳米全工艺工序段并有重复订单，在14及7纳米制程也有数台订单交付客户。随着下游客户在先进制程中的进一步发展，公司在先进制程中的重点产品将有望放量。