財聯社12月26日訊（編輯 周子意）三星電子正在開發自己的“智能傳感器系統”，用於對半導體工藝的控制和管理。這項新技術有望提高半導體良率、提高生產率。

據ETNews報道，三星電子內部已經開始了智能傳感器系統的研究與開發，預計未來將應用於無人駕駛和人工智能半導體制造過程。該項目據悉正在與有關夥伴和學術界合作進行。

精確測量和管理等離子體條件，被認爲是半導體生產工藝中的重要工作之一，因爲只有在半導體制造過程中精確控制等離子體的均勻性和密度，才能提高半導體良率、確保產量。

而“智能傳感器系統”可以用於測量晶圓等離子均勻性，準確測量和管理蝕刻、沉積和清洗的工藝性能，有望實現產能的提高。

該公司現有的晶圓智能傳感器大部分採購自國外廠商，耗資巨大。而近期，鑑於對提高產量和生產率的需求不斷飆升，三星選擇轉向內部研發，降低對外國傳感器的依賴程度。

此外，三星電子正在開發的智能傳感器據悉是超小型的，不會對現有設備空間造成太大影響。這意味着還能夠提高空間利用率。

三星電子還計劃逐步擴大智能傳感器的開發和應用範圍。其目的是開發智能傳感器和系統，可用於各種半導體工藝，而不限於等離子體。

上述舉動是三星對構建智能半導體生產系統的嘗試，或許最終有望實現“人工智能晶圓廠”。

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