微導納米總部外景

◎記者 王玉晴

走在微導納米的榮譽牆前，公司首席技術官黎微明特意在一項原子層沉積（ALD）技術的榮譽證書前停下了腳步，向上海證券報記者介紹了這項技術對公司科技創新的重要性。

如果說微導納米的產品體系像是一個星系，位於中心的“太陽”就是原子層沉積這一核心技術。黎微明告訴記者，ALD技術在集成電路行業應用已久，而微導納米創立時先是將ALD首創應用於光伏行業，然後再進入集成電路行業。現在，光伏和集成電路構成了公司薄膜沉積設備的主要下游市場。而在公司的研究院內，爲更多戰略性新興產業孵化的新應用正在“孕育”階段。

“不僅要追趕，更要在追趕中創新。”黎微明表示，身處半導體行業重要發展階段，微導納米不僅肩負重大使命，更要追求更高質量發展。

ALD技術應用廣泛

賦能光伏和集成電路產業

在微導納米之前，全球尚未有企業將原子層薄膜沉積技術應用在光伏行業。微導納米通過自主創新，實現了這一首創性應用，爲公司發展奠定基礎。

今年，光伏電池新技術路線TOPCon以席捲之勢成爲市場主流。多位行業人士接受記者採訪預測，TOPCon在2024年光伏行業的市佔率有望從2023年的20%左右躍升至70%至80%。而原主流路線PERC電池的生產商，正緊鑼密鼓將有改造潛力的產線升級爲TOPCon產能。

微導納米對光伏迭代跟蹤緊密，在TOPCon設備市場已佔據領先地位。2023年，公司在開發行業內首條GW級PE-Poly TOPCon電池工藝整線的基礎上，進一步推出全新的TOPCon 2.0整線工藝技術。把握了新技術的關鍵首創，微導納米自然也享受到了新技術的紅利。公司ALD產品連續多年在營收規模、訂單總量和市場佔有率方面位居國內同類企業第一。

在大步拓展光伏市場之後，微導納米又進入原子層沉積技術的另一重要應用領域集成電路行業，開拓出一片“芯天地”。“目前的先進半導體制程以及未來小於2納米的製程，都需要ALD技術進行鍍膜。因爲器件結構越小、越三維化，對鍍膜的要求越高，而只有ALD技術可以滿足集成電路製造最尖端的要求。”黎微明強調了ALD技術對集成電路行業的重要性。

微導納米是國內首家成功將量產型High-k原子層沉積設備應用於28納米節點集成電路製造前道生產線的國產設備廠商，已與國內多家廠商建立了深度合作關係，相關產品涵蓋了邏輯、存儲、化合物半導體（第三代半導體）、新型顯示（硅基OLED）等諸多細分應用領域，多項設備關鍵指標達到國際先進水平。

“ALD其實還有很廣闊的應用前景，在鋰離子電池、燃料電池、光學器件等具有前瞻性、戰略性的行業，我們都正在培育ALD技術應用。”黎微明說，“我們秉持的理念就是‘創新驅動，引領未來’。”

不僅追趕 更要創新

一家能夠做技術原創應用的企業，核心技術人員都要具有過硬的本領。而黎微明在荷蘭的半導體公司從事過多年研究工作，參與過ALD技術導入集成電路生產的全過程。

1994年，黎微明從赫爾辛基大學碩士畢業後，開啓了原子層沉積技術研究生涯。2000年博士畢業後，黎微明邁入原子層沉積技術的產業化應用領域。在延續摩爾定律的大背景下，他任職的公司率先將高介電常數材料引入到半導體行業，對半導體行業發展起到了至關重要的作用。2015年，黎微明從芬蘭回國，與幾位創始人共同創辦了微導納米。

科創企業的成長需要技術帶頭人，更離不開研發團隊、資金投入等綜合實力。黎微明告訴記者，目前公司研發人員佔比超過總人數的30%，在每一個應用領域內，都有一名研發帶頭人。2022年，微導納米研發投入超過1.38億元，研發投入佔營收比例超過20%。

“我們經常講‘兵馬未動，糧草先行’，其實裝備對具有戰略意義的產業是非常重要的。很多行業都是因爲裝備實現突破，整個行業纔有了進一步發展。”黎微明表示，中國企業雖然在集成電路領域處於追趕全球先進技術階段，但是在追趕的同時，微導納米更加註重創新突破。人工智能、自動駕駛等新技術將帶來巨大的市場，微導納米已將大量資源投入新興集成電路市場，以捕捉“芯市場”中的新機遇。

在紅海中找到藍海

各種場合都要打贏

商場如戰場，科創板上市公司能夠以硬科技立身資本市場，不僅需要技術人員攻堅克難，更離不開管理層的謀篇佈局。

“一家裝備製造商能夠發展壯大，首先一定要具有大局觀，要立足於國家的戰略所需，業務佈局要符合時代的節拍和未來產業的規劃，助力實現先進製造和先進服務業的深度融合和加強。”微導納米總經理周仁向記者表示，公司將緊跟國家指引的方向，加快發展新質生產力。

周仁特別強調了順應市場變化的重要性：“我們要洞察市場的變化並及時應對，在紅海中找出藍海，重點開發能夠爲客戶帶來價值的創新性、差異性的產品。”

在周仁看來，所有的戰略落地最關鍵的還是人。在集聚優秀人才方面，公司堅持“進得來，留得住，上得去”的人才戰略。

談及“帶兵打仗”，周仁強調：“要在各種場合都能打贏。”

“以光伏價格戰爲例，其實考驗的是生存能力。我鼓勵團隊要在各種場合都能打贏，這樣才能把兵練出來。”周仁表示，經過國內光伏設備產業的激烈競爭，公司產品也能夠以更強的競爭力走向國際市場。

微導納米最新發布的2023年業績快報顯示，公司2023年營業總收入16.83億元，同比增長145.82%；歸母淨利潤2.57億元，同比增長374.47%。

“這是公司創新理念、技術和執行力的結果。”周仁表示，公司將努力保持在ALD設備領域國內領先的行業地位，未來將持續加大在存量和增量市場的技術、產品開發力度，增強公司抵禦單一市場波動的風險，同時助力中國產業技術走向全球最前沿。