本文转自：江淮晨报

本报讯 “注意精度，千万不能马虎，必须保证质量。”紧盯着机器运转的卫功文嘴上提醒着“徒弟”，遇到关键处还是习惯性地上手操作，一连串行云流水般的动作一气呵成。

2015年，卫功文来到合肥芯碁微电子装备股份有限公司，担任机械装配组长，他的主要工作是从事装配车间生产光刻设备LDI精密运动平台的精密装配、测量、调校、集成生产等工作。

“工作内容要求我必须对每寸每厘精益求精。”提到光刻机的工作原理，卫功文解释得通俗易懂。“你可以简单理解为，它借助光在基板上进行画图，而精密运动平台则是光刻机的核心部件，只有平台走得准，光刻机才能制作出高精度产品。”

然而光刻机相关工作的难度，还是远超卫功文的想象。比如，超精密直线运动如何保证？图形正确性与YAW值关系，偏差如何调校？……这些难题从卫功文来到车间起，便一直困扰着他，“国内没有经验可用，国外只卖设备，封锁制造技术。”这种受制于人的无力感，让卫功文深有感触，凭借一颗不服输“匠心”，让他想与这些“难题”掰掰手腕。

在那之后，卫功文带领自己团队日夜摸索，攻坚克难、结合高精度光学系统、标定系统、对工件台精密运动系统各部件特性了解，他最终成功找到对YAW值快速高效不破坏基础整体的调校方法，并被国内同行业借鉴规模使用。“我们实现了国产直写光刻机从无到有的技术突破，技术迭代。”

采访中，合肥芯碁微电子装备股份有限公司主要负责人告诉记者，这项技术不仅对公司设备量产装配调校，以及后期客户端维修服务起到绝对性的保障，还拓展到多机型应用，这满足了公司业务极速扩大的需求，“为公司设备自主国产化试制到量产，迈出了坚实的一大步。”

但聊起自己的这些成绩，卫功文却显得淡定不少。他觉得人要向前看，作为有着36年工龄的技术人员，要始终保持职业热情，并为此全身心投入。“我现在追求的最大目标，就是精益求精的做好产品，促进更多自主研发产品规模化生产。”

合肥通客户端-合报全媒体记者 汪涛