本文轉自：江淮晨報

本報訊 “注意精度，千萬不能馬虎，必須保證質量。”緊盯着機器運轉的衛功文嘴上提醒着“徒弟”，遇到關鍵處還是習慣性地上手操作，一連串行雲流水般的動作一氣呵成。

2015年，衛功文來到合肥芯碁微電子裝備股份有限公司，擔任機械裝配組長，他的主要工作是從事裝配車間生產光刻設備LDI精密運動平臺的精密裝配、測量、調校、集成生產等工作。

“工作內容要求我必須對每寸每釐精益求精。”提到光刻機的工作原理，衛功文解釋得通俗易懂。“你可以簡單理解爲，它藉助光在基板上進行畫圖，而精密運動平臺則是光刻機的核心部件，只有平臺走得準，光刻機才能製作出高精度產品。”

然而光刻機相關工作的難度，還是遠超衛功文的想象。比如，超精密直線運動如何保證？圖形正確性與YAW值關係，偏差如何調校？……這些難題從衛功文來到車間起，便一直困擾着他，“國內沒有經驗可用，國外只賣設備，封鎖製造技術。”這種受制於人的無力感，讓衛功文深有感觸，憑藉一顆不服輸“匠心”，讓他想與這些“難題”掰掰手腕。

在那之後，衛功文帶領自己團隊日夜摸索，攻堅克難、結合高精度光學系統、標定系統、對工件臺精密運動系統各部件特性瞭解，他最終成功找到對YAW值快速高效不破壞基礎整體的調校方法，並被國內同行業借鑑規模使用。“我們實現了國產直寫光刻機從無到有的技術突破，技術迭代。”

採訪中，合肥芯碁微電子裝備股份有限公司主要負責人告訴記者，這項技術不僅對公司設備量產裝配調校，以及後期客戶端維修服務起到絕對性的保障，還拓展到多機型應用，這滿足了公司業務極速擴大的需求，“爲公司設備自主國產化試製到量產，邁出了堅實的一大步。”

但聊起自己的這些成績，衛功文卻顯得淡定不少。他覺得人要向前看，作爲有着36年工齡的技術人員，要始終保持職業熱情，併爲此全身心投入。“我現在追求的最大目標，就是精益求精的做好產品，促進更多自主研發產品規模化生產。”

合肥通客戶端-合報全媒體記者 汪濤