用平面度最小包容區域的寬度f表示的數值，見圖

平面度誤差的評定方法有：最小包容區域法、最小二乘法、對角線平面法和三遠點平面法。其中最小包容區域法的評定結果小於或等於其他三種方法。而應於三座標機的平面度評定的方法主要是最小包容區域法和最小二乘法。

平面度誤差的測量及最小二乘法建模：一般的平面度的測量方法有統一基準法和對角線法。本次採用三座標機測量平板的平面度誤差，具體步驟爲：

1）：測量將一平板按4mm×4mm分爲小平面，並輕放於測量臺上；

2）：將測量機歸零，用三座標測量機側頭測量每個小平面的焦點，並記錄數據。

3）： 用最小二乘法處理數據。

以最小二乘中心平面S作爲評定基面的方法按此方法求得平面度誤差值f ls，見圖

式中：dmax，dmin爲各測得點相對最小二乘中心平面Sls。的最大，最小偏離值。di在s

根據平面標準方程式Ax+By+Cz+D=0及測得n點距離Di式構造以下函數,該函數即爲最小二乘中心平面應該滿足的關係式。