據韓國媒體的報道,SK Materials在本月17日宣佈實現99.999%超高純度的氟化(HF)氣體量產,氟化氫氣體一般用於半導體生產工序,韓國媒體報道稱這標誌着氟化氫已經實現了本地化生產,進一步降低了對日本的依賴。

SK Materials實現超高純度的氟化(HF)氣體量產之際,正值日本對韓國半導體企業依賴的化學品實施嚴格的出口管制一週年。

韓企崛起削弱了日本企業競爭力,出口管制後的韓國“被迫”國產化

2019年7月,日本政府宣佈對出口韓國的半導體工業材料加強審查和管控,並將韓國排除在貿易“白色清單”以外,具體針對出口到韓國的高純度氟化氫、氟化聚醯亞胺,以及光阻劑等3種先進化學品,對這些化學品實施嚴格的出口管制。

此後,所有的日本企業在出口這些化學原料時,必須接受日本政府的審覈才得以放行。而在當時,韓國的半導體企業幾乎100%依賴日本等國所生產的高純度氟化氫,此舉威脅到了三星、LG等韓國半導體企業的正常生產。

面臨進口先進化學品出口管制後的韓企,隨即開展了國產化的嘗試。

2019年11月。SK Materials成立了相關材料的研發中心,成功開發出基於三氟化氮(NF3)技術的氣態氟化氫原型,這給韓國半導體產業帶來了很大的信心,隨後SK Materials在韓國慶尚北道的榮州工廠,設置了年產量15公噸規模的生產設備,最終的目標是實現對於先進化學品特別是高純度氟化氫的國產化。

從2019年的11月份一直到今年6月份,SK Materials一直與客戶進行測試,直到本月開始批量生產。韓媒報道稱,韓國科技工業部門計劃在2023年前,把國產化的比率由0%提升到70%。

何爲高純度氟化氫,韓企的99.999%(5N)與日企相比如何?

日本對韓國進行出口管制的先進化學品包括氟化氫、氟化聚酰亞胺和光刻膠等半導體行業關鍵材料,對韓國半導體產業最重要的當屬其中的氟化氫,三星李在鎔當初爲了三星能夠繼續獲得氟化氫材料,不惜出訪日本長達6天以謀求擺脫當前的困局,當然後來也沒能解決。

氟化氫的用途非常廣泛,在半導體行業當中,氟化氫主要用來切割半導體基板,在半導體產品製造的600多道工序中,使用氟化氫的次數有時多達十多次,高純度的氟化氫(HF)幾乎決定了半導體材料的生產。

高純度的氟化氫(HF)是智能手機、芯片、顯示面板等產業的重要原材料。

目前具備生產氟聚酰亞胺、光刻膠及高純度氟化氫,且純度能夠達到半導體制造業使用需求的,90%的產能都在日本。作爲韓國三大半導體企業的三星、SK海力士和LG對日本產上述材料依賴度相當高。

本次SK Materials實現量產的高純度氟化氫爲99.999%(5N),在國內也被稱爲“5個9”,而日本廠商提供的超高純度氟化氫爲99.999999999%(11N),被稱爲“11個9”,SK Materials的高純度氟化氫在純度上仍然比不上後者,但屬於已經可以用於半導體制造業的使用。在對產品品質有着超高要求的核心半導體產品上,韓企目前仍然離不開日本的供應。

韓國的最終目的是實現先進化學品的全面國產

除了高純度氟化氫以外,SK Materials也在研發推動包括光刻膠和硬掩模板在內的半導體原材料本地化生產。公開資料顯示,SK Materials在今年2月份收購了光刻膠公司。

光刻膠也是半導體制造當中重要的原材料,用於對半導體的曝光。當光刻膠被塗在晶圓上並用光刻設備進行曝光時,就會刻出此前設計的電路圖案,而硬掩模板是一種光致抗蝕劑輔助材料,在曝光的過程中可以保護圖案免於塌陷,得到更好的品質。

根據計劃顯示,SK Materials將在2021年底前完成對光刻膠生產線的佈局,爭取從2022年起能夠實現50000加侖的年產能。

日本遲遲不鬆手,韓國在WTO中恢復對日本出口限制申訴

正如韓國科技工業部門計劃那樣,至少要在2023年前才能把國產化的比率提升到70%,且不論超高純度的先進化學品,而在這之前,韓國半導體產業仍然離不開日本原材料企業的供應。

此前的6月2日,韓國政府表示將在世界貿易組織(WTO)就一些高科技材料的出口管制重新啓動針對日本的訴訟,並補充稱,解決爭端的談判迄今未能取得進展。

韓國貿易投資部副部長Na Seung sik對記者說:“我國政府得出的結論是,很難通過正常對話看到這種情況取得進展,而正常對話一直是我們暫停通過世貿組織解決這一問題的條件。”

即使韓國將在世界貿易組織就一些高科技材料的出口管制重新啓動針對日本的訴訟,但韓國仍然計劃將繼續與日本對話,韓國監管部門表示,稱日本在處理世貿組織的申訴時沒有表現出足夠的決心來解決問題。

可見的未來,雙方圍繞原材料出口的相關爭議短時間內還將繼續,而在國產化沒有順利完成之前,韓國半導體企業仍將受到日本的桎梏。

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