國林科技近期接受投資者調研時稱，半導體專用臭氧清洗設備首臺套已於2022年下半年交付於客戶使用，公司陸續已送樣客戶包括半導體清洗設備、薄膜沉積設備頭部企業及面板廠等，預計2023年內完成產品驗證。