原標題：TMC主動隔震平臺詳細規格參數

公司致力於高水準TMC隔振臺系統的研發和製造，爲高精密和高穩定性的科研領域以及工業生產提供所需要的條件。TMC主動隔振系統從簡單的桌面式隔振顯微鏡底座到大尺寸的光學平臺系統均有深入研究。公司憑藉具有數字控制器和壓電驅動器的精密的主動和慣性振動消除系統引領行業。同時也讓TMC公司的主動光學隔震系統成了諸如生命科學、半導體、光子學、電子顯微鏡和計量學等科研領域和工業生產等敏感儀器對應嘈雜環境的標準解決方案，深受歡迎和認可。TMC的產品使用爲先進的垂直集成製造工廠設計和生產，並且承諾爲客戶提供卓越的全球服務。

TMC隔振臺的主要性能體現在於其減震的頻率範圍，以及有效減震百分比。TMC主動隔振系統從0.6Hz開始具備減震效果，並且具有對2Hz以上的有效頻率範圍的震動減震效可達90%的卓越性能。TMC公司的主動光學隔震系統主要採用壓電主動震動消除，對比傳統的空氣隔震，具有更優異的性能。TMC隔震系統的出現，使得許多高精度和穩定性要求的實驗和儀器運用成爲可能，同時也促進了主動隔振臺行業的技術革新。TMC隔震臺的“剛性”式慣性消振支撐系統是任何振動敏感型儀器的理想選擇，它使此類工具能夠在嘈雜的環境中以高標準運行。

TMC隔振臺的主要特點：

-始於0.6Hz的隔振

-2Hz開始的主動減振效果可達90%的無與倫比的隔振效果

-高靈敏度，低頻慣性速度傳感器

-沒有任何空氣隔振系統的侷限性

-獨特的串行設計和專有的高力壓電技術

TMC隔振臺的主要應用：

-聚焦離子束隔振

-掃描電子顯微鏡隔振

-超精密儀器和機械設備隔振

-半導體工業隔振

-小型雙光束儀器隔振

-高大工具的建築地面振動隔離

-先進半導體工廠中的精密微光刻、計量和檢測設備的震動隔離

TMC STACIS Ⅲ：

STACIS III是一種靈活的高級主動隔振系統。STACIS採用先進的慣性振動傳感器、先進的控制算法和先進的壓電致動器，通過連續測量地面活動，然後擴展和收縮壓電致動器來過濾地面運動，以實時消除振動。STACIS III包括一個全新的改進型數字控制器DC-2020。這款全新的高級控制系統在前後面板上採用了新的雙核處理器、以太網以及USB串行端口，爲用戶提供了現代化且易於使用的圖形用戶界面（GUI）。STACIS在全球已擁有數百個成功的安裝案例，是理想的隔振系統，適用於對振動爲敏感的儀器。

STACIS Quiet Island：

半導體制造工廠、納米技術中心、納米工廠和其他精密製造和研究中心通常將潔淨室與活動假地面系統結合在一起，以滿足複雜的設施要求（管道、電纜、燃氣管道等）和保持嚴格的清潔標準。這種地面不適用於對振動敏感的生產、檢測和計量設備。活動地面無法爲這些工具提供必要的安靜振動環境。TMC的Quiet Island用一個固定在下面底層地面上的“安靜島”替換一部分活動地面區域，提供了一種創新的解決方案。Quiet Island包括一個兼容潔淨室的平臺頂部和一個應用和現場特定的支撐結構。

SEM-Base Ⅵ：

SEM-BaseⅥ 是下一代STACIS主動壓電消振產品。SEM-Base VI被設計用於支撐所有商用掃描電子顯微鏡（SEM）以及許多聚焦離子束（FIB）和小型雙光束儀器。SEM-Base VI具有更好的隔振性能、更快、更強大的控制器和高級圖形用戶界面（GUI）。

TOOL-Base:

TOOL-Base是一種先進的主動壓電地面減振平臺，用於超精密儀器和機械設備。它適用於比典型的商業掃描電子顯微鏡（SEM）更大或更重的儀器，而且設備有高度限制。

TOOL-Base不侷限於單一的配置，而是可以被設計成與工具的尺寸、腿的佈局和高度要求緊密匹配。此外，它的容量可以與有效載荷的質量相匹配。

TOOL-Base優勢:

- 硬安裝技術： TOOL-Base是帶有內部氣動振動控制系統的理想工具，提供一個穩定和堅硬的平臺，以支持振動敏感的工具。

- 主動慣性振動消除 ： TOOL-Base採用高靈敏度，低頻慣性速度傳感器，以實現高水平的振動衰減，即使在安靜的地面上。

- 採用壓電技術的串行設計： 獨特的串行設計和專利的高功率壓電技術使得 0 。 6Hz 開始的有源帶寬很寬，並且在 2Hz 開始的主動減振 90% 達到無與倫比的慣性主動減振效果。

- 配置靈活性： TOOL-Base的配置可以調整，以適應刀具的底座和高度要求