轉自：中國證券網

上證報中國證券網訊 萬物回春，繁花紛呈，正值春日好時節。3月19日，芯源微上海臨港廠區竣工投產儀式暨新產品發佈儀式在飛渡路廠區隆重舉行。

上海芯源微董事長、瀋陽芯源微副總裁崔曉微首先致辭，向上海芯源微一路走來給予重要支持的母公司、客戶、新片區政府和建設單位深情致謝，並表示，上海芯源微將秉持匠心、潛心、精心，以高性能產品和服務爲客戶創造價值，爲產業增添力量。

瀋陽芯源微董事長、總裁宗潤福上臺致辭，他將上海芯源微比作“名校生”，從建設之始便重點培養、高舉高打、開發國際一流水平的產品，同時表達了更高期許，要在未來三年實現產品、訂單跨越式提升，瀋陽芯源微將全力支持上海芯源微的高速發展。

中國集成電路產業開路人、現上海積塔執行董事張汝京博士蒞臨並致辭。張博士表示，從中芯國際、青島芯恩到上海積塔，芯源響應客戶的客製化要求，體現了專業精品、客戶至上的精神，上海積塔和上海芯源微是親密鄰居，一定要緊密合作、共同發展。

臨港新片區管委會副主任彭世權蒞臨現場並致辭。彭主任表示芯源微在臨港的佈局和發展是臨港集成電路產業提升的重要一環，對上海芯源微成爲全球半導體設備領先企業抱以信心，爲上海芯源微順利達產、實現高質量發展送上真摯祝福。

藉此契機，上海芯源微同步發佈自主研發的首款高端設備——KCE前道單片式化學清洗機。上海芯源微化學清洗部總監、化學清洗產品主設計師彭博先生上臺進行了產品發佈。

該款機型具有高工藝覆蓋性、高穩定性、高潔淨度、高產能、高智能化等優勢，自研16 champer高產能架構，工藝覆蓋率可以達到80%以上，並且適配高溫SPM工藝。目前已爲近十家客戶進行了Wafer Demo測試，多項工藝水平達到業界領先水平。

繼往開來，聚勢啓航。未來，上海芯源微將紮根臨港，以高精尖技術研發爲引領，以高性能的產品和服務爲客戶創造價值，與產業鏈上下游一起，爲中國乃至世界半導體設備增添新的力量。（陳志強）